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3 月25日,全球半導體產業盛會 SEMICON China 2026 在上海舉行,盛會現場,湖北菲利華石英玻璃股份有限公司(以下簡稱菲利華)舉辦了以“極致性能、定制未來”為主題的新品發布會,正式推出極致系列產品,以全工藝品類的布局滿足半導體先進制程各場景需求。
極致系列新品發布會正式啟幕
菲利華極致系列產品
隨著全球芯片制程持續向3 納米、2納米甚至1納米加速演進,半導體制程對石英材料的純度、一致性、穩定性提出了極致要求。發布會現場,菲利華闡釋了當前半導體石英材料面臨的三大核心挑戰。其一,是全球半導體產業新格局下,符合半導體級要求的優質礦源極度稀缺,疊加地緣政治影響下全球半導體供應鏈重構,對石英材料廠商的持續穩定供應能力提出了拷問。其二,是技術的瓶頸,天然石英砂加工提純工藝已至極限,無法滿足先進制程對材料的極致純度要求,而傳統 CVD 合成石英材料則面臨生產成本高、生產設備復雜、羥基含量等難題。其三,是品質一致性的行業痛點,天然石英砂批次間性能波動、雜質含量不確定性,已成為制約先進制程芯片良率穩定的 “隱形殺手”。
面對三大核心挑戰,菲利華提出了人工合成石英砂熔制石英玻璃解決方案,依托自主研發的人工合成石英砂制備技術,從原料端擺脫對天然石英礦資源的依賴,從根源上規避天然礦脈中難以剔除的夾雜物、氣泡等缺陷,推動石英材料的純度躍升,同時使石英材料具備出色的一致性與可靠性,為半導體先進制程提供穩定可靠的材料解決方案。
來賓駐足菲利華展臺觀看菲利華“極致”系列產品發布
菲利華極致系列產品所用合成石英砂以自主溶膠凝膠法制備,產品金屬雜質總含量低至 1ppm 以內,遠低于現有天然石英砂 15~30ppm 的水平;并且實現了石英砂顆粒度高一致性,無包裹體,羥基(OH)含量可控。
基于高品質合成石英砂原料,結合菲利華深耕二十余年的自主氣熔工藝,本次發布的極致系列FLH 331氣熔合成砂石英材料,相較傳統天然砂石英材料具有更高純度、更少氣泡與包裹體,實現了性能的躍升:金屬雜質總含量小于1ppm,尤為突出的是其優異的氣泡控制能力。
同時亮相的FLH631電熔合成砂石英、FLH 630L電連熔合成砂石英管等產品,在具備更高純度、更少氣泡與包裹體優勢的同時,兼具優異的耐高溫性能。該系列產品搭載菲利華的摻雜工藝,可實現鋁(Al)含量的定制化,充分滿足不同制程場景的個性化需求。
眾多行業客戶蒞臨菲利華展臺咨詢極致系列產品細節
本次發布的極致系列合成砂不透明石英材料實現了雙重突破。其中合成砂不透明(白)對比 FSTQZ®W一方面透過率更低、孔隙率更優、光線散射效果與保溫性能大幅提升;另一方面純度從 4N 級躍升至 6N 級,堿金屬雜質含量大幅降低,可完美適配半導體高溫設備中的關鍵隔熱部件場景。合成砂不透明(黑)相較 FSTQZ®B 實現了堿金屬雜質的更低控制,在半導體熱處理、高能激光、等離子噴涂、生化醫療分析等多領域具備廣闊應用前景。
菲利華展臺吸引了國內外半導體設備、芯片制造及關鍵零部件供應商的廣泛關注。技術團隊與客戶就石英材料在先進制程中的關鍵應用痛點進行了深入交流。各方一致認為,隨著制程向3納米及以下節點演進,石英材料在純度、氣泡及包裹體含量等方面的要求持續提升,已成行業共識。客戶普遍表示,本次發布的極致系列產品精準契合先進制程對材料性能的升級需求,代表了具備全球競爭力的高端石英材料整體解決方案。
菲利華工程師為客戶詳解極致系列產品性能與應用場景
未來,菲利華將秉承“極致成就卓越”的理念,以做好產品為核心,搭配六位一體的服務體系,與全球客戶深度協同,共建“極致-共贏”價值鏈,為全球半導體產業的發展注入來自中國石英材料的強勁動力。
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